Подложкодержатель №118623
Способ изготовления тонкопленочного солнечного модуля с крайбированием слоев № 2715088
Патент 2739195 RU, И.А. Няпшаев, Ф.С. Егоров, Вакуумная напылительная установка с системой лазерной очистки паллет (варианты). Приоритет 07.04.2020, регистр. 21.12.2020, до 07.04.2040.